AX533 高真空加热炉 本产品的开发主要是针对晶振行业在生产过程中，对晶振产品元器件及其组成部份有烘烤或退火老化的需求工艺时，
可在高真空状态下，进行程控式加热老化退火、烘烤加热。
设备技术参数
设备体积(WxLxH)：
0.9mX1.4mX1.8m
预留维护及生产空间(WxLxH)：
2.1mX2.6mX1.8m (前、后、左、右四周各预留0.6m)
重量：
320kg
电力需求规格：
三相五线AC380V电源 、50Hz
额定功率：
15KW
压缩空气：
5Kg/cm 流量3L/Min
降温冷却方式：
腔内每层独立水循环，腔外整体水循环。
冷却水循环要求：
低于室温5～8 ℃ ，水压：0.2Mpa 流速：15L/Min
进水口规格：
10mm软管
出水口规格：
10mm铜管（加配变接头）
工作温度：
正常使用温度 280 ℃ 最高设计温度 320 ℃
炉内胆总容积：
宽X 高X 深（mm）（330X 570 X 270）
内腔隔板层数
10层（层面320mmX260mm）（长X 宽）
（层板间高净空间为320x260x35+/-2mm）
取放产品方式：
通过前门人工取放产品
产品取出时温度：
低于150°时，取出产品（先破真空）
（系统自动降温，炉内温度低于135度，）
产品封装形式：
产品未封焊前后
极限真空度：
2x10^-3pa
使用真空度：
2x10^-2pa
真空工作模式采用：
低真空：机械泵
高真空：机械泵+分子泵
抽低真空时间（空载）：
3~5分钟左右达到2×10^0 pa。
抽高真空时间（空载）：
1~2分钟可从2×10^0到达5X10^-3 pa.
分子泵工作条件：
设备真空度达到5×10^0 pa时，分子泵开始工作
升温速率：
约10℃/Min
降温速率：
约8℃/Min
层板温控精度：
控温精度±3.5°
每层板，采用带温度感应器+水冷补偿控温
温度曲线：
采用30段（升/降温3段保温时间可独立设置）
不需要时可以直接设置保温时间为0分钟。
层板选用模式：
层板可按生产需求设备启用或停用
过热感应保护：
含外腔体过热感应保护，内腔体整体过热感应温控保护。
特殊气阀：
含有破真空氮气阀，并含有预抽真空时加氮排水汽阀（在抽真空过程中先充氮气后再抽真空）
升温时间：
<60分钟
保温时间：
到达设定温度后保温例：40分钟（保温时间可设置，保留可阶段性保温功能）
降温时间：
约0.5小时温度达到170°-180°后，可打开前门进行取出产品
机械泵安装位置：
外置机械泵，机械泵预留2米的管道
真空机械泵延长管道规格：
双头KF40直通
真空排气出口规格:
真空排气出口45mm
参数说明：
本页参数统计不含周边配套设施的使用
